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一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法
编号:S000022808 刷新日期: 有效日期至:2020-10-14 浏览:2107 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法,是将半导体发光二极管(简称LED)在氨气和三甲基镓气相沉积成GaN,生产过程中排出氨气、氮气、氢气混合气体中少量的氨气,在用户现场用气体压缩机增压到1.0MPa~3.0MPa后,在零下50℃~80℃冷冻的情况下,将混合气中的有害气体氨气液化,将混合气中无害的氮气、氢气进入放空系统,液化的液氨再经过精馏塔提纯,从而将本来LED企业在生产过程中排放的含氨废气变废为宝,混合气中氨气的回收率可达到99%以上,回收的氨气纯度可达到99.99999%,符合LED气相沉积的质量要求。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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