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扫描式UV-LED曝光装置
编号:S000022749 刷新日期: 有效日期至:2020-11-04 浏览:2313 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种扫描式UV-LED曝光装置,包括曝光单元、UV-LED照明单元及循环周期移动环,是运用一以固定速率做周期循环的UV-LED曝光光源,对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动,达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的,并以错位排列增加发光二极管数组光源对于辐射照度的均匀性,以增加曝光均匀性,进而有效提高产品良率;此外,本发明透过上下曝光台与循环周期移动环的结构设计,可使装置体积缩小,节省生产空间与能源消耗而降低生产成本,利用循环周期移动环带动发光二极管数组光源,使工件在上下曝光台与循环周期移动环之间充分利用空间而可同时进行上下曝光台的曝光,可节省能源并有效地相对增加产速,以提高生产效能。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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