本发明涉及有机发光二极管制造技术领域，特别是一种顶部发光OLED器件阳极结构的制备，其特征在于包括四层薄膜覆盖在基底上，从基底往上分别为基底兼容层、中间反射率层、能级匹配层和阳极改性层；采用了多层薄膜结构设计实现了阳极的多功能性，明显提高了顶部发光OLED器件的发光效率、工作寿命。另外，本发明采用了不易产生元素扩散材料制备阳极，降低由于元素扩散导致器件像素发生短路的几率；本发明所采用的金属单质、合金或金属化合物，原料具有易得、价格便宜、薄膜制备手段多样等优点。