本发明公开了一种阵列基板，包括多个位于基板上的像素单元，像素单元包括：形成在基板上的薄膜晶体管结构；以及由薄膜晶体管结构驱动的有机发光二极管，有机发光二极管位于像素单元的像素区域，有机发光二极管在远离基板的方向上依次包括透明的第一电极、发光层、反射光线的第二电极；彩膜，位于所述有机发光二极管与所述薄膜晶体管结构之间；半反半透层，位于所述有机发光二极管的第二电极与所述彩膜之间；有机发光二极管的第二电极与半反半透层形成微腔结构。还公开了上述阵列基板的制作方法及包括上述阵列基板的显示装置。本发明在阵列基板上实现了结构，制作工艺简单的微腔结构。