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用于发光二极管的高温无金晶圆接合
编号:S000022396 刷新日期: 有效日期至:2021-01-03 浏览:2051 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
通过在硅晶圆上生长外延LED结构制成的竖直GaN基LED。加入银层并且使其退火以承受大于450℃的温度。提供阻挡层(例如Ni/Ti),在温度高于450℃下,其效用可持续五分钟,防止接合金属扩散进入银层。然后,使用在大于380℃下熔化的高温接合金属(例如AlGe),将产生的器件晶圆结构晶圆接合至载体晶圆结构。晶圆接合之后,去除硅、加入无金电极(例如Al)并且切割该结构。与电极金属兼容的高温焊料(例如ZnAl)用于管芯附接。管芯附接发生在大于380℃温度下持续十秒,而不熔化接合金属,否则器件被损坏。整个LED不含金,并且因此可在高产量无金半导体制造厂内制造。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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