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> 技术详情
用于发光二极管的高温无金晶圆接合
编号:S000022396
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-03
浏览:
2281
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
通过在硅晶圆上生长外延LED结构制成的竖直GaN基LED。加入银层并且使其退火以承受大于450℃的温度。提供阻挡层(例如Ni/Ti),在温度高于450℃下,其效用可持续五分钟,防止接合金属扩散进入银层。然后,使用在大于380℃下熔化的高温接合金属(例如AlGe),将产生的器件晶圆结构晶圆接合至载体晶圆结构。晶圆接合之后,去除硅、加入无金电极(例如Al)并且切割该结构。与电极金属兼容的高温焊料(例如ZnAl)用于管芯附接。管芯附接发生在大于380℃温度下持续十秒,而不熔化接合金属,否则器件被损坏。整个LED不含金,并且因此可在高产量无金半导体制造厂内制造。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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