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一种高亮度GaN基发光二极管外延片及其制备方法
编号:S000022389 刷新日期: 有效日期至:2020-12-14 浏览:2275 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 安徽 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供了一种高亮度GaN基发光二极管外延片,包括衬底、衬底上表面上方设置一非掺杂GaN层,非掺杂GaN层上表面上方依次设置一N型GaN复合层、有源层和P型GaN复合层,在非掺杂GaN层和N型GaN复合层之间进一步设置一极性转换层,所述极性转换层的材料为Mg元素掺杂浓度为1×1020~5×1020cm-3的P型GaN。本发明的优点在于是一项低成本、简单可控和与传统LED工艺相兼容的N型GaN层表面粗化技术。本发明提出了采用高掺杂P型GaN作为极性转换层,使后面的表面粗化和工艺是在N面实施的,速度更快,效果更好,粗化的表面对DBR的要求也相应降低,因此可以很容易实现界面粗化和高反射率,从而达到上文所述提高GaN基LED光提取效率的目的。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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