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TFT阵列基板、制备方法及量子点发光二极管显示器件
编号:S000022383 刷新日期: 有效日期至:2020-10-29 浏览:2477 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种TFT阵列基板、其制备方法及量子点发光二极管显示器件,采用半色调掩膜板以及双氧水刻蚀液,可以通过一次构图工艺分别在氧化物半导体层形成氧化物半导体层的图形,以及在源漏极层形成源漏极的图形,这样,就可以在TFT结构中将源漏极直接设置在氧化物半导体层之上,不用在两者之间设置刻蚀阻挡层;并将该TFT结构的顶栅型结构应用于QD-LED显示器件的结构中,能实现结构简单的TFT阵列基板以及QD-LED器件,节省其制作工艺流程,降低了生产成本。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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