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纳米无荧光粉氮化镓白光发光二极管的制作方法
编号:S000022348 刷新日期: 有效日期至:2020-11-22 浏览:2213 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种纳米无荧光粉白光氮化镓发光二极管的制作方法,包括以下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上外延生长GaN缓冲层1和n-GaN层;步骤3:在n-GaN层上通过纳米技术制作GaN纳米线模板;步骤4:在GaN纳米线模板上生长GaN过渡层;步骤5:在GaN过渡层上生长InGaN量子盘;步骤6:在InGaN量子盘上生长p-GaN层,形成基片;步骤7:将基片一侧的部分刻蚀掉,刻蚀深度到达n-GaN层内,形成台面;步骤8:在n-GaN层的台面上制作下电极;步骤9:在p-GaN层上制作上电极,完成发光二极管的制作。由于本方法采用的是纳米的模板的基底,能很好地释放应力,从而降低Droop效应,增加LED的发光效率。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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