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激光诱导空气隙发光二极管的制作方法
编号:S000022338
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-07
浏览:
2250
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种激光诱导空气隙发光二极管的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底,采用激光器在距衬底上表面30um的内部形成规则网状空气隙;步骤2:在衬底上采用MOCVD方法依次生长成核层、N型掺杂层、多量子阱发光层、P型掺杂层和ITO层;步骤3:采用光刻的方法,在ITO层上的一侧向下刻蚀,刻蚀深度到达N型掺杂层内,形成台面;步骤4:在ITO层上未刻蚀的一侧上制备P型电极;步骤5:在台面上制备N型电极。
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