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激光诱导空气隙发光二极管的制作方法
编号:S000022338 刷新日期: 有效日期至:2020-12-07 浏览:2250 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种激光诱导空气隙发光二极管的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底,采用激光器在距衬底上表面30um的内部形成规则网状空气隙;步骤2:在衬底上采用MOCVD方法依次生长成核层、N型掺杂层、多量子阱发光层、P型掺杂层和ITO层;步骤3:采用光刻的方法,在ITO层上的一侧向下刻蚀,刻蚀深度到达N型掺杂层内,形成台面;步骤4:在ITO层上未刻蚀的一侧上制备P型电极;步骤5:在台面上制备N型电极。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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