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> 技术详情
具有空气桥结构发光二极管的制作方法
编号:S000022324
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-01
浏览:
2410
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种具有空气桥结构发光二极管的制作方法,包括:在蓝宝石衬底上淀积二氧化硅掩蔽层;在其上排列一单层紧密排列的自组装聚苯乙烯球;第一次加热和采用ICP刻蚀的方法,刻蚀自组装聚苯乙烯球;第二次加热和在自组装聚苯乙烯球的间隙、表面及掩蔽层的表面蒸镀金属掩膜;去除自组装聚苯乙烯球表面的金属掩膜;采用温度处理使自组装聚苯乙烯球气化,在掩蔽层上形成网孔状的金属掩膜;刻蚀掩蔽层;酸液腐蚀掉金属网孔状的金属掩膜,形成二氧化硅的纳米孔状阵列结构;在纳米孔状阵列结构上依次外延u-GaN层、n-GaN层、多量子阱结构、电子阻挡层和p-GaN层,形成芯片;将芯片置于HF溶液中超声,使u-GaN层中的掩蔽层被腐蚀掉后,被空气包覆,完成发光二极管的制作。
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