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一种GaN基发光二极管外延结构的生长方法
编号:S000022319 刷新日期: 有效日期至:2020-11-18 浏览:2083 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 安徽 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开一种GaN基发光二极管外延结构的生长方法,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、N型GaN层、浅量子阱层、发光量子阱层、低温P型GaN层、PAlGaN电流阻挡层、高温P型GaN层和P型接触层,所述浅量子阱层包括多个依次交叠的量子阱结构,所述量子阱结构由InxGa1-xN势阱层,其中0
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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