本发明公开了一种有机发光二极管（OLED）的阳电极的制备方法。所述方法依次包括如下步骤：（1）在水蒸气氛围中沉积ITO材料，形成第一ITO层；（2）对第一ITO层进行第一次处理；（3）在水蒸气氛围中沉积ITO材料，形成第二ITO层；（4）对第二ITO层进行第二次处理。