本发明公开了一种发光二极管的外延片及制造方法，外延片包括：衬底、依次覆盖在衬底上的缓冲层、至少一个N型层、发光层、至少一个P型层和透明导电层，至少一个P型层中的一个P型层包括至少3个子P型层，各子P型层的厚度和掺杂浓度不同。方法：提供衬底并在衬底上依次生长缓冲层、至少一个N型层、发光层、至少一个P型层和透明导电层，生长至少一个P型层中的一个P型层包括：以第一预定掺杂浓度沉积，使P型层生长至第一厚度；以第二预定掺杂浓度沉积，使P型层生长至第二厚度；以第三预定掺杂浓度沉积，使P型层生长至第三厚度。本发明提高了发光二极管的发光效率。