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一种具有低导通饱和压降的IGBT及其制造方法
编号:S000021936 刷新日期: 有效日期至:2020-12-20 浏览:2409 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种具有低导通饱和压降的IGBT及其制造方法,其在有源区区内设置第二导电类型层,第二导电类型层通过导电多晶硅及绝缘栅介质层分隔成若干第二导电类型层第一区域及第二导电类型层第二区域;半导体基板的第一主面上覆盖有绝缘介质层;第二导电类型层第一区域内设置对称分布的第一导电类型注入区,第一导电类型注入区与相应的绝缘栅介质层相接触,且第二导电类型层第一区域上方设有发射极接触孔,发射极接触孔贯通绝缘介质层并延伸到第一主面上;发射极接触孔内填充有发射极金属层,且所述发射极金属层覆盖于绝缘介质层上,发射极金属层与第二导电类型层第一区域欧姆接触。本发明具有较低的饱和压降Vcesat和较高的耐冲击性能。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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