本发明公开了一种摆臂软着陆方法，其包括以下步骤：1）通过一驱动机构驱动固晶摆臂和摆臂支撑部向下首先运动至信号检测位，信号检测位位于中间位或者中间位和物料接触位之间，中间位位于起始位和物料接触位之间的中心点上；2）通过与传感器电连接的电控机构从信号检测位开始搜索传感器的触发信号，触发信号由第一触头部和第二触头部分离时所触发；3）固晶摆臂的头端接触到物料后，物料对固晶摆臂的头端形成一向上的反作用力，再通过其后端与摆臂支撑部连接处的柔性连接件的作用，其上的第一触头部由固晶摆臂的后端带动向下运动并与第二触头部分离。本发明可以更好地确保固晶品质、适用于芯片比较脆弱且对封装的平整度以及可靠性要求较高的半导体器件的封装。