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一种部分场板屏蔽的高压互连结构
编号:S000021918 刷新日期: 有效日期至:2020-12-12 浏览:2289 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种部分场板屏蔽的高压互连结构,属于半导体功率器件技术领域。本发明用于具有高压互连线的跑道型横向功率器件中,包括双层部分多晶屏蔽场板和高压互连线;所述双层部分多晶屏蔽场板仅存在于高压互连线跨过的器件表面层中,无高压互连线跨越的器件表面没有多晶屏蔽场板;所述双层部分多晶屏蔽场板由第一层场板和第二层场板构成,其中第二层场板位于第一层场板与高压互连线之间;两层场板在器件表面层中呈非连续分布状,且两层场板之间交错分布并相距适当的距离。本发明与具有高压互连的传统浮空场板结构相比,在不影响浮空场板对高压互连线效应的屏蔽作用,保证器件耐压的基础上,减小了器件尺寸,增加了器件的开态电流能力。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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