本发明涉及一种氧化锌纳米柱薄膜及其制备方法。氧化锌纳米柱薄膜的微观结构具有六角柱状。其制备方法为将的六水合硝酸锌溶于去离子水中，通过搅拌配置成透明的硝酸锌溶液，然后逐滴加入氨水，使之形成透明的氨水络合物，然后，取适当溶液移入耐高压水热釜的聚四氟乙烯内胆中，同时将清洗干净的铜片放入水热釜内胆，严密封紧好后置入干燥箱，控制温度和时间进行水热反应，待反应结束后经过数次清洗、干燥，即在铜衬底上制备一层氧化锌纳米柱薄膜。采用本发明方法制备氧化锌纳米柱薄膜，原料廉价，环境友好，所用设备和制备过程简单，方便快捷，所得氧化锌纳米柱薄膜具有大面积均匀性、取向一致的特点，是一种性能良好的发光材料和半导体材料。