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一种CMOS FinFET器件及其形成方法
编号:S000021798 刷新日期: 有效日期至:2020-11-15 浏览:2628 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种CMOS?FinFET器件以及用于制造CMOS?FinFET器件的方法。示例性CMOS?FinFET器件包括具有第一区域和第二区域的衬底。CMOS?FinFET器件还包括设置在所述衬底上的鳍式结构,该鳍式结构包括第一区域中的第一鳍状件和第二区域中的第二鳍状件。CMOS?FinFET器件还包括第一鳍状件的第一部分和第一鳍状件的第二部分,该第一鳍状件的第一部分包含与衬底的材料相同的材料,该第一鳍状件的第二部分包括沉积在所述第一鳍状件的第一部分上的III-V半导体材料。CMOS?FinFET器件还包括第二鳍状件的第一部分和第二鳍状件的第二部分,该第二鳍状件的第一部分包括与所述衬底的材料相同的材料,第二鳍状件的第二部分包括沉积在所述第二鳍状件的第一部分上的锗(Ge)材料。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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