一种在线SPM生成系统及其控制方法，涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备，尤其适用于集成电路工艺中光致抗蚀材料的剥离剂的处理，包括H₂SO₄供给单元，H₂O₂供给单元，SPM混合喷淋单元和控制单元，SPM混合喷淋单元包括一个SPM混合元件和至少一个SPM喷淋头；SPM混合元件包括至少两个输入端和一个SPM输出端，H₂SO₄流量控制元件通过H₂SO₄输送管路连接到SPM混合元件的第一输入端，H₂O₂流量控制元件通过H₂O₂输送管路连接到SPM混合元件的第二输入端，SPM混合元件的SPM输出端连接到SPM喷淋头。该系统通过流量检测反馈控制硫酸和过氧化氢的流量，控制精度高，流量值稳定，生成的SPM混合液混合比例准确，可调节范围宽，从而保证SPM混合液的活性范围广，可适用于各种不同的清洗工艺要求。