本发明公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。本发明提供的一种换热器均流装置，改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，使流通换热器的气流均流，提高换热器的使用效率，具有占用空间小、均流效果好、结构设计简单和具有可调性等优点。