本发明涉及一种硅溶胶的制备方法，所述方法包括如下步骤：（1）在醇溶剂中加入含有双氧水的催化剂和去离子水，搅拌均匀，配制溶液A；（2）在醇溶剂中加入硅酸酯，搅拌均匀，配制溶液B；（3）将溶液B加入溶液A中，常温下反应，然后进行蒸发浓缩，得到硅溶胶。通过本发明所述方法制备得到的硅溶胶，pH在7.0~7.5，粒径可控，粒径为50~160nm，粒径分布窄，固含量为30~60%，金属离子含量＜50ppm，稳定性长达一年，是一种中性大粒径高浓度高纯度硅溶胶。所述硅溶胶可用于硅晶圆抛光材料和半导体器件的化学机械抛光以及蓝宝石衬底材料的抛光。