本发明涉及具有芯片上监视器电路和控制电路的电路装置及对应方法。这里给出的实施方式包括多个芯片上监视器电路以及控制器。所述多个芯片上监视器电路中的每一个被配置为测量半导体芯片的参数。所述控制器耦合至所述多个芯片上监视器电路。所述控制器被配置为从所述多个芯片上监视器电路中的至少一个接收测量结果，并根据所述测量结果来控制所述多个芯片上监视器电路中的另一个芯片上监视器电路的校准。