您当前的位置:首页 > 供应列表 > 技术详情
开关管的制作方法、阵列基板的制作方法
编号:S000021651 刷新日期: 有效日期至:2020-11-29 浏览:2520 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种开关管的制作方法、阵列基板的制作方法,首先在基底上依次形成第一金属层、绝缘层、半导体层、欧姆接触层、第二金属层、第三金属层以及光阻层;对光阻层进行图案化处理后,蚀刻第三金属层和第二金属层以形成开关管的输入电极和输出电极;使用胺含量至少为30%重量的剥离液除去光阻层以及残留的金属;最后对欧姆接触层进行蚀刻。通过上述方式,本发明能够有效避免开关管的电性异常,提高制程良率。
分享到:
联系方式
在线QQ: 点击这里
机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
相似供应