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一种晶圆的裂片装置和方法
编号:S000021649 刷新日期: 有效日期至:2021-01-03 浏览:2485 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 湖北 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种晶圆的裂片装置和方法,属于半导体发光器件领域。所述装置包括用于产生超声波的超声波换能器、用于将所述超声波传递至划片后的晶圆的传递介质、以及用于支撑所述划片后的晶圆的支撑件;所述超声波换能器和所述支撑件相对设置。所述方法包括将划片后的晶圆与超声波的传递介质接触;在所述传递介质中向所述划片后的晶圆传播超声波,使所述划片后的晶圆在所述超声波作用下裂片。本发明通过一种晶圆的裂片装置和方法进行晶圆的裂片,裂片主要采用超声波技术,效率高,用时短,芯片的良品率高。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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