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> 技术详情
基于蓝宝石衬底的石墨烯CVD直接外延生长方法及制造的器件
编号:S000021595
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-22
浏览:
2186
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 陕西
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的石墨烯CVD直接外延生长方法,采用蓝宝石作为衬底,通过对蓝宝石衬底进行合理的预处理,调节生长压力,流量以及温度,在蓝宝石上面直接生长石墨烯,无需金属作为催化剂,生长的石墨烯无需转移过程,便可以直接用于制造各种器件,提高了器件的电学特性,可靠性,降低了器件制造的复杂性。可以生长出具有半导体洁净度的大面积石墨烯材料,单层的可控性超过80%,圆片面积最大可以到8英寸。
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