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> 技术详情
一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法
编号:S000021536
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-06
浏览:
2288
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法,包括如下步骤:先将氧化硼粉与酚醛树脂配制成料浆;再将配制好的料浆均匀涂覆于清洗干净的需要修复的用后热解氮化硼坩埚表面并干燥;然后将上述干燥后的热解氮化硼坩埚置于高温气氛炉加热,在一定气氛条件下反应,原位生成氮化硼涂层;最后将表面打磨抛光后即得到修复后的热解氮化硼坩埚。本发明方法可以使表面修复后的热解氮化硼坩埚再次用于化合物半导体单晶的生长,降低了成本。
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