一种配装波纹管垂向解耦重力补偿器的微动台属于半导体制造装备技术领域，该微动台在重力补偿器顶部配置有波纹管实现垂向解耦，在垂向音圈电机动子磁钢顶部相对于轴心对称配置有由三个相同的片簧构成的支撑簧片，在基座与垂向音圈电机定子线圈之间设置有水冷环形腔，并配备有冷却水和压缩空气的均温装置，本微动台具有结构简单、易加工、可释放电机动子热膨胀应力、带走电机产热、抑制温升的特点，同时可均化冷却水和压缩空气温度，消除气路与电缆并行铺设由线缆发热带来的压缩空气温升，有利于抑制微动台微环境下的温度波动，保证微动台严苛的恒温外部环境。