本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种预防晶圆滑落的装置及方法。本发明提出一种预防晶圆滑落的装置及方法，通过在晶圆固定器的管脚上设置与系统通信连接的光检测装置，当晶圆与管脚卡接不紧时，光检测装置的光信号接收装置就会接受到光信号，即能在进行晶圆检测分析工艺对晶圆的固定情况进行预警，根据预警信号对机台进行停机检查，进而有效避免因晶圆卡接不牢而导致title的时候发生晶圆从固定器上滑落而致使其破损，有效降低了工厂的生产检测分析成本。