本发明涉及一种静电喷雾和热处理法在硅基板表面制备石墨烯膜及无定形碳包裹石墨烯的复合碳膜的制备方法，属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明方法的特点是以液相超声剥离法获得石墨烯分散液，以此分散液为基液可以制备出不同的静电喷雾的前驱液。然后以硅基板为衬底，利用静电喷雾和基板加热法电喷雾沉积出石墨烯膜及无定形碳包裹石墨烯的复合碳膜，在空气或真空中进一步的干燥和热处理后得到石墨烯膜及复合碳膜。本发明方法的优点是制膜温度低、设备价格低以及制备工艺简单，制得的薄膜具有附着性较好及多孔的特性且具有良好电学性能。