一种物料使用情况的监控管理方法及系统，该方法包括：设置并获取物料管理记录标准配置文件；设置用于记录参与该工艺过程的每一个晶圆承载器中每个物料的记录文件，记录文件与设备状态记录文件相关联且根据设备状态文件参数的变化而改变；每次工艺完成后，使用迭代的方法对每一个晶圆承载器中每个物料的使用次数值和膜厚值进行记录文件的累计更新；比较和判断更新后的记录文件参数是否达到或超出所述配置文件中相应的配置项，如果是，输出报警并执行相应的处理。本发明符合SEMI标准半导体设备的管控设计，能够确保物料的管理记录的准确性、更新的实时性和通知的精确性。