一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台，主要应用于半导体加工制造和检测设备中。该运动平台含有动子、定子、基座和测量系统组成，动子采用二维永磁阵列，定子的线圈阵列采用空心圆柱型线圈；利用三轴陀螺仪、三轴加速度计和电涡流传感器实现六自由度粗测量，利用激光干涉仪进行动子位置的精测量。位于动子上的测量装置信号经数据处理电路，利用无线发射装置传送到控制机，并通过无线接收装置接收控制器指令。与现有技术相比，该磁浮运动平台能够实现动子绕Z轴的大角度转动，同时也能够实现平面内的大行程运动；采用无线传输技术和无线缆设计，提高了系统抗干扰能力。