本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。该装置包括储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采样端连接热水注入通道，输出端连接气动三通阀的输入端；气动三通阀，其第一输出端连接储存容器的回液入口，第二输出端连接工艺单元的输入端，工艺单元的输出端连接储存容器的回液入口。本发明的一种化学药液分配装置通过在工艺管路上设置热水注入通道，代替了现有技术中的在线加热机构以及纯水注入机构，将加热与纯水注入合二为一，简化了化学药液分配装置的结构，方便了操作，同时减少了控制点。