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一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法及系统
编号:S000021322 刷新日期: 有效日期至:2020-11-05 浏览:2451 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 湖北 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法,具体为:在衬底表面沉积金属玻璃材料光刻胶层,按照目标纳米图案对沉积得到的样品进行曝光,曝光部分达到晶化温度发生相变,产生纳米晶化图形;对曝光后带有纳米晶化图形的样品进行刻蚀形成所需的纳米图案。本发明利用金属玻璃材料替代有机光刻胶,能够得到的样品光刻线宽远小于激光聚焦光斑衍射极限,并且成本低,刻蚀选择比大。本发明还公开了实现上述方法的系统,主要包括计算机、任意波形发生器、半导体激光器、准直扩束镜、光束隔离器、分光镜、聚焦伺服机构、聚焦镜头、X-Y-θ三维位移台和聚焦伺服控制箱。该系统构成简单、性价比高、操作简单、对操作环境要求相对宽松,产出率高。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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