本发明涉及难熔金属合金箔片零件加工、表面处理技术领域，具体的说是表面高光洁度的难熔金属合金箔片零件及其制备方法，选用厚度在0.06～1mm范围的难熔金属的合金坯料，然后进行压力或机械加工并平整，根据要求加工成需要的尺寸和形状的箔片零件，采用机械研磨和抛光对所述的箔片零件进行单面或双面的表面处理，研磨和抛光均采用碳化硼抛光液，研磨和抛光压力为5~50kg，研磨时间为10~120min，抛光时间为10~240min，得到的产品零件厚度为0.05～0.95mm，表面粗糙度小于Ra0.002，本发明同现有技术相比,能满足大功率LED照明芯片、电子通讯、半导体等行业对于表面高光洁度零件的需求，其制备方法简单合理，成本低，能够广泛的用于各种领域。