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一种阵列基板的制造方法及阵列基板、显示器
编号:S000021254 刷新日期: 有效日期至:2020-10-22 浏览:2409 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种阵列基板的制造方法及阵列基板、显示器,涉及显示领域,用以保护TFT的有源层。所述制造方法包括:在衬底基板上制作底层金属薄膜,并通过一次构图工艺至少形成薄膜晶体管的栅极;制作覆盖所述栅极的栅绝缘层;制作金属氧化物半导体薄膜,并通过一次构图工艺在与所述栅极相对的位置形成有源层;制作顶层金属薄膜,并通过一次构图工艺至少形成薄膜晶体管的源极和漏极;在本次构图工艺中所使用的刻蚀液的成分包括:双氧水、顶层金属离子络合剂、双氧水的稳定剂,以及表面活性剂;且该刻蚀液的PH值在6-8之间;制作覆盖所述源极、漏极的钝化层,在所述漏极的位置形成连通像素电极的过孔。本发明适用于显示器中阵列基板的设计及制造。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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