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> 技术详情
一种阵列基板的制造方法及阵列基板、显示器
编号:S000021254
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-22
浏览:
2409
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种阵列基板的制造方法及阵列基板、显示器,涉及显示领域,用以保护TFT的有源层。所述制造方法包括:在衬底基板上制作底层金属薄膜,并通过一次构图工艺至少形成薄膜晶体管的栅极;制作覆盖所述栅极的栅绝缘层;制作金属氧化物半导体薄膜,并通过一次构图工艺在与所述栅极相对的位置形成有源层;制作顶层金属薄膜,并通过一次构图工艺至少形成薄膜晶体管的源极和漏极;在本次构图工艺中所使用的刻蚀液的成分包括:双氧水、顶层金属离子络合剂、双氧水的稳定剂,以及表面活性剂;且该刻蚀液的PH值在6-8之间;制作覆盖所述源极、漏极的钝化层,在所述漏极的位置形成连通像素电极的过孔。本发明适用于显示器中阵列基板的设计及制造。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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