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一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台
编号:S000021230 刷新日期: 有效日期至:2021-01-02 浏览:3059 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 辽宁 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域,具体地说是一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台,该承片台分为相对可拆装的内层承片台及外层承片台,待加工的晶圆放置在内层承片台或外层承片台上,利用伯努利原理被夹持。本发明的承片台分为螺纹连接的内外两层,通过旋入和旋出内层承片台,实现了在一个承片台上对不同尺寸晶圆的有效夹持,很大程度上解决了伯努利承片台对不同尺寸晶圆的兼容问题。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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