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> 技术详情
一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台
编号:S000021230
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-02
浏览:
3208
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 辽宁
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域,具体地说是一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台,该承片台分为相对可拆装的内层承片台及外层承片台,待加工的晶圆放置在内层承片台或外层承片台上,利用伯努利原理被夹持。本发明的承片台分为螺纹连接的内外两层,通过旋入和旋出内层承片台,实现了在一个承片台上对不同尺寸晶圆的有效夹持,很大程度上解决了伯努利承片台对不同尺寸晶圆的兼容问题。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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