本发明公开了属于表面超精研磨技术领域的一种油性金刚石研磨液及其制备方法，本研磨液含有以下组分：金刚石微粉、表面活性剂、分散剂、pH值调节剂、润湿剂和油，各组分的重量配比（wt.）为：金刚石微粉：0.001%-10%；表面活性剂：0.001%-20%；分散剂：0-20%；pH值调节剂：0-10%；润湿剂：0-10%；其余为油。主要应用于碳化硅晶片、LED蓝宝石衬底片、陶瓷、光纤、模具及半导体化合物晶片等表面的研磨抛光。使用本发明提供的研磨液可大大的提高抛光效率，分散性能好，可以长期保持均匀稳定状态，用其抛光后产品光洁度高，抛光效果好并且不含对人体有害成分，易于清洗，有利于环保。