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一种人工多孔二氧化钛复合结构及其制备方法
编号:S000021207 刷新日期: 有效日期至:2020-12-28 浏览:2198 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 浙江 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种人工多孔二氧化钛复合结构,包括衬底、过渡层、人工二氧化钛结构、孔、通气孔,其中,过渡层位于衬底的两面,且过渡层内分布有孔;人工二氧化钛结构为长方体结构,且人工二氧化钛结构上分布有孔,通气孔位于人工二氧化钛结构的内部,且贯穿人工二氧化钛结构。本发明通过设计碳薄膜的尺寸,能够人工的调节通气孔的尺寸;利用钛和碳共溅射,通过调整钛和碳的溅射功率,能够设计孔的尺寸和密度;本发明的孔和通气孔形成三维的孔状结构,当气流流入本发明的结构中,能够更有效的净化甲醛。此外,本发明的制备方法与现有的半导体工艺兼容,适合工业生产。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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