一种用于太阳电池增效的等离子体激源的制备方法，其特征是（1）以3～7层线径为0.02~0.04mm、线隙为0.03～0.05的筛网遮挡太阳电池前表面，以真空蒸发方法向太阳电池前表面沉积金属，使各个网孔下都得到一层0.5～2.5nm厚的金属薄膜岛（2）然后在真空环境中于100～500℃下进行退火。采用本发明方法可制备出均匀分布于表面的金属纳米颗粒；将其应用于玻璃表面作为示范，能够明显减少该表面对光的反射率，提高光的透射率；将其应用于太阳电池前表面，使电池能量转换效率相对提高了5％。由于本发明方法制备过程不涉及高温，所以不会产生对半导体的金属污染。该方法简单易行，适合于工业生产应用。