本发明涉及一种热致驱动的MEMS可变电容器及其制备方法。电容器由固定的下极板和由热致驱动的上极板组成；热致驱动器包括固定于衬底的冷臂和加热臂组成，通过输入电压，使热致驱动器发生变形，带动电容器的上极板向上运动，使电容值发生变化。本发明技术方案提供的可变电容器，其电容值相对变化率比较大，可达10倍以上。本发明中的可变电容器制造时采用标准的MEMS技术，与半导体工艺完全兼容，具有体积小，加工工艺简单，制作成本较低，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。