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> 技术详情
一种热致驱动的MEMS可变电容器及其制备方法
编号:S000021100
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-01
浏览:
2406
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及一种热致驱动的MEMS可变电容器及其制备方法。电容器由固定的下极板和由热致驱动的上极板组成;热致驱动器包括固定于衬底的冷臂和加热臂组成,通过输入电压,使热致驱动器发生变形,带动电容器的上极板向上运动,使电容值发生变化。本发明技术方案提供的可变电容器,其电容值相对变化率比较大,可达10倍以上。本发明中的可变电容器制造时采用标准的MEMS技术,与半导体工艺完全兼容,具有体积小,加工工艺简单,制作成本较低,容易实现大批量生产,提高了产品性价比和市场竞争力。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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