本发明涉及一种低功耗高灵敏度的碳纳米管红外传感器，其为基于碳纳米管（carbon？nano-tube,CNT）与标准硅工艺相结合的微悬臂梁红外探测传感器，该传感器由标准硅工艺设计制造出两个有间距并悬空的微悬臂梁，然后通过介电泳现象，将纳米碳管成功的排列并且搭在相邻的两个微型悬臂梁上方。通过微悬臂梁对红外线反应后的形变带动柔软的纳米碳管的形变而触发其电阻的变化。本发明具有体积小、重量轻、易于量产、低成本、低功耗、高灵敏度等优点。本发明可以和标准的互补金属氧化物半导体（complementary？matal-oxide-semiconductor？transistor,CMOS）读出电路进行单片集成，可以通过大量的阵列应用于红外成像。