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一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法
编号:S000021087 刷新日期: 有效日期至:2020-12-17 浏览:2221 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法。该方法,包括:1)将绝缘材料在非氧化性气氛中升温至1200-1800℃,保持10-30分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的绝缘材料上进行反应,反应完毕关闭所述碳源,在非氧化性气氛下冷却至室温,得到所述单晶石墨烯。该石墨烯具有规则的几何形貌,如正六变形和正十二变形。该方法工艺简单,与现有半导体工业兼容。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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