用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
一种双极电路的制造方法
编号:S000021067
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-13
浏览:
2415
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 浙江
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种双极电路的制造方法,包括在提供的半导体衬底上淀积第一介质层,半导体衬底的外延层中形成有掺杂的深磷、第一类掺杂区、第二类掺杂区和上隔离;将接触孔图形及电容窗口图形合并到同一掩膜版上进行刻蚀,在形成的各层次上的第一介质层中形成接触孔,同时在第二类掺杂区上的第一介质层中形成所需的电容窗口;生长二氧化硅层,去净选取的部分电容窗口中的二氧化硅层,再去除淀积的部分氮化硅层,以保留所需的电容窗口内的氮化硅层,形成不同电容。本发明能缩短发射区退火工艺生产时间,解决特殊电路高低压模块中对电容值及电容耐压的要求以及解决发射区与接触孔光刻对位精度对产品的影响。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
一种适用于油水深度分离的Ω型纤维编织方法
所在区域:中国
转让类型:
合作研发
原料药生产废水的处理方法
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
一种循环流化床风干系统
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
一种自海水中提炼饮用水机
所在区域:中国
转让类型:
合作研发