本发明公开了一种有源矩阵有机发光显示器阵列基板制作方法，包括如下步骤：提供一基板；在基板上形成第一半导体图形和第二半导体图形；继续形成栅绝缘层和第一金属层，采用光刻形成栅极；接着沉积层间绝缘层，采用刻蚀的方法形成四个接触孔；继续形成第二金属层、源极、漏极和存储电容电极；接着继续形成钝化绝缘层和透明电极层；最后在整个表面形成保护膜层和蒸镀材料层，利用多灰阶掩膜板进行曝光形成台阶式保护膜层。本发明提供的有源矩阵有机发光显示器阵列基板制作方法，利用多灰阶掩膜板进行曝光形成台阶式保护膜层，从而有效减小保护膜层的台阶差，降低AMOLED点缺陷显示不良的发生几率，进而提高AMOLED的显示品质。