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回音壁模微腔激光二极管的制备方法
编号:S000021037 刷新日期: 有效日期至:2020-12-10 浏览:2487 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
回音壁模微腔激光二极管的制备方法,首先在P型氮化镓薄膜表面旋涂一层P型聚合物半导体薄膜(如聚乙烯基咔唑PVK、聚芴PF、聚对苯乙烯撑PPV、聚-3烷基噻吩P3HT及其衍生物等P型聚合物半导体),然后将单根氧化锌微米棒集成在p型聚合物薄膜表面形成异质结,然后在集成有ZnO微米棒的片子上旋涂一层绝缘薄膜(如:聚甲基丙烯酸甲酯PMMA,聚二甲基硅氧烷PDMS,二氧化硅SiO2,三氧化二铝Al2O3等有机或者无机透明绝缘材料),通过反应离子刻蚀或者光刻工艺把ZnO微米棒表面暴露,接着在ZnO微米棒表面制备透明电极(如:氧化铟锡ITO、氧化锌铝ZAO等),最后在p型GaN表面制备具有欧姆接触的金属电极,构成完整的器件。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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