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绝缘膜用组合物及三维垂直孔的孔壁上形成绝缘膜的方法
编号:S000020982 刷新日期: 有效日期至:2020-11-08 浏览:2449 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种绝缘膜用组合物,按质量份包括酚醛树脂100份、稀释剂50~300份、增粘剂1~20份、成膜剂20~150份、交联剂50~150份及白炭黑5~20份。这种组分和配比使得由该绝缘膜用组合物形成的绝缘膜具有介电常数低的特点,能够广泛应用于半导体集成器件中。进一步地,本发明还提供一种在三维垂直孔的孔壁上形成绝缘膜的方法。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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