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一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法
编号:S000020968
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-16
浏览:
2452
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。本发明提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法,通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级,并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺,在提高产能效率的基础,有效控制产品生产周期的失控,进而提升产品的准时交货率。
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