本发明涉及一种半导体射频器件在晶圆多管芯并行测试过程中，基于垂直式探针卡的跳格式探针制作方法，奇数行隔一个管芯制作探针，偶数行不制作探针；探卡测试过程中的步进距离设置为第一次为一个管芯宽度，第二次为15个管芯宽度；本发明解决了射频器件多管芯并行测试相互干扰问题，提高了测试效率，适用于量产测试。