本发明涉及一种电子级正硅酸四乙酯的制备方法，尤其涉及一种用于半导体行业化学气相沉积用电子级正硅酸四乙酯的制备方法，先用络合剂络合原料中大部分金属杂质后，用0.１微米的微孔过滤器过滤；通过阳离子交换塔、石英板式蒸馏塔、亚沸蒸馏器，严格控制温度，去除微量金属杂质、乙醇及其有机杂质和水份。采用常规提纯设备，操作方便，利于工业规模化生产，产品成本低。