本发明涉及一种电子级反-1，2-二氯乙烯的制备方法，尤其涉及一种用于半导体行业热氧化工艺用电子级反-1，2-二氯乙烯的制备方法，经过常压精馏、亚沸蒸馏，严格控制馏分温度，有效去除金属杂质及高沸有机杂质和水份。采用常规提纯设备，操作方便，利于工业规模化生产，且产品纯度高。